Председатель совета директоров компании Ван Чжиганг подчеркнул, что разработка стала возможной после преодоления сложностей с технологической интеграцией, накоплением производственного опыта и выстраиванием цепочки поставок. Внедрение собственной измерительной техники позволяет китайским производителям снизить зависимость от зарубежного оборудования на критических этапах литографии.
Huiran Microelectronics выпустила CD-SEM для 14-нм чипов
Китайская Huiran Microelectronics представила собственный растровый электронный микроскоп для контроля качества полупроводниковых пластин. Аппарат, который в отрасли называют «маленьким литографом», предназначен для работы с 12-дюймовыми пластинами, произведенными по техпроцессам 14-нм и 22-нм, и уже запущен в серийное производство на местных предприятиях.
Ключевым преимуществом новой системы стала интеграция алгоритмов искусственного интеллекта. За счет глубокого обучения нейросетей инженерам удалось сократить время анализа изображений: один кадр теперь дает детализацию, сопоставимую с результатом обработки 64 снимков. По оценкам разработчиков, этот метод ускоряет производственный цикл более чем в 10 раз, позволяя эффективнее выявлять дефекты на стадии травления и формирования слоев.
Комментарии (0)
Пока нет комментариев. Будьте первым!